نام فایل : يون گيري واكنشي

فرمت : .doc

تعداد صفحه/اسلاید : 70

حجم : 224 کیلوبایت

مقدمه :
يون گيري واكنشي-
PECVD
-
Ashing
- پراكنده كردن مايعات- شيمي پلاسمايي- فيزيك پلاسما- عكس العمل سطوح نسبت به يكديگر
سخنران:
Herbert H.Sawin
پروفسور مهندسي شيمي و مهندسي برق و علوم كامپيوتر از مؤسسه علم و صنعت ماساچوست (
MIT
)، شهر كمبريج،
MA
پيشنهادهاي فهرست شدة سمينار:
July 8-12,2002
كمبريج، ماساچوست
...